GB/T 30652-2014
シリコンエピタキシー用トリクロロシラン (英語版)
- 規格番号
- GB/T 30652-2014
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2024-03
- に置き換えられる
- GB/T 30652-2023
- 最新版
- GB/T 30652-2023
- 範囲
- この規格は、シリコンエピタキシー用のトリクロロシラン（SiHCl3）の要件、試験方法、検査規則と標識、梱包、輸送、保管、品質証明書および注文書（または契約書）の内容を規定しています。 この規格は、原料の粗トリクロロシランを精製して得られるシリコンエピタキシー用トリクロロシラン（以下、製品という）に適用されます。
GB/T 30652-2014 規範的参照
- GB 16483 化学物質安全データシート作成規則
- GB 190 危険物包装標識
- GB 28654 工業用トリクロロシラン
- GB/T 191 包装、保管、輸送の絵標識
- GB/T 29056 シリコンエピタキシー用のトリクロロシランの化学分析方法誘導結合プラズマ質量分析法によるホウ素、アルミニウム、リン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、ヒ素およびアンチモンの量の測定
- YS/T 987 ガスクロマトグラフィー質量分析によるクロロシラン中の炭素含有量の測定*， 2021-12-02 更新するには
GB/T 30652-2014 発売履歴
- 2023 GB/T 30652-2023 シリコンエピタキシー用トリクロロシラン
- 2014 GB/T 30652-2014 シリコンエピタキシー用トリクロロシラン
