GB/T 29056-2012
シリコンエピタキシー用のトリクロロシランの化学分析方法誘導結合プラズマ質量分析法によるホウ素、アルミニウム、リン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、ヒ素およびアンチモンの量の測定 (英語版)

規格番号

GB/T 29056-2012

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2012

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 29056-2012

範囲

この規格を使用する担当者は、正式な実験室での実務経験を持っている必要があります。 この規格は、考えられるすべての安全上の問題に対処しているわけではありません。 適切な安全および健康対策を講じ、関連する国内法および規制に規定されている条件を確実に遵守することはユーザーの責任です。 この規格は、ホウ素、アルミニウム、リン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、ヒ素、アンチモンなどの微量元素の含有量の測定方法を規定しています。 この規格は、以下の測定に適用されます。 シリコンエピタキシー用のトリクロロシラン（SiHCl3）中のホウ素、アルミニウム、リン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、ヒ素、アンチモンなど。 各元素の定量範囲を表１に示します。 表１（省略）

GB/T 29056-2012 発売履歴

• 2012 GB/T 29056-2012 シリコンエピタキシー用のトリクロロシランの化学分析方法誘導結合プラズマ質量分析法によるホウ素、アルミニウム、リン、バナジウム、クロム、マンガン、鉄、コバルト、ニッケル、銅、モリブデン、ヒ素およびアンチモンの量の測定