GB/T 18867-2014
電子産業用ガス六フッ化硫黄 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 18867-2014
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 18867-2014
- 交換する
- GB/T 18867-2002
- 範囲
- この規格は、六フッ化硫黄の技術要件、試験方法、標識、包装、保管および安全性を規定しています。 この規格は、精製・精製により硫黄とフッ素を直接反応させて製造される六フッ化硫黄に適用されます。 この製品は主にエレクトロニクス産業の化学蒸着チャンバーの洗浄剤およびプラズマエッチング剤として使用されます。 分子式：SF6。 相対分子量: 146.0564192 (2007 年の国際相対原子量に従って計算)。
GB/T 18867-2014 規範的参照
- GB 14193 液化ガスボンベ充填規制
- GB 15258 化学物質安全ラベル作成規則
- GB 16804 ガスボトルの警告ラベル
- GB 190 危険物包装標識
- GB 5099 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 12022 工業用六フッ化硫黄
- GB/T 26571 特殊ガス貯蔵期間仕様
- GB/T 28726-2012 ガス分析 - ヘリウムイオン化ガスクロマトグラフィー
- GB/T 3723 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
- GB/T 5832.1 ガス分析 微量水分の定量 パート 1: 電気分解法*， 2016-12-13 更新するには
- GB/T 5832.3 ガス中の微量水分の測定パート 3: キャビティリングダウン分光法
- GB/T 8170 数値の丸め規則と極値の表現と決定
GB/T 18867-2014 発売履歴
- 2014 GB/T 18867-2014 電子産業用ガス六フッ化硫黄
- 2002 GB/T 18867-2002 電子産業用ガス六フッ化硫黄
