GB/T 18867-2002
電子産業用ガス六フッ化硫黄 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 18867-2002
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2002
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2015-07
- に置き換えられる
- GB/T 18867-2014
- 最新版
- GB/T 18867-2014
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用されるガス状六フッ化硫黄製品の技術要件、分析方法、検査規則と梱包、ラベル表示、輸送、保管および安全要件を指定します。 この規格は、硫黄とフッ素を反応させて生成し、精製・精製した高純度の六フッ化硫黄に適用されます。 本製品は主に電子部品等のプラズマエッチャント、ドーパント、エピタキシャルガス、希釈キャリアガスとして使用されます。
GB/T 18867-2002 発売履歴
- 2014 GB/T 18867-2014 電子産業用ガス六フッ化硫黄
- 2002 GB/T 18867-2002 電子産業用ガス六フッ化硫黄
