JC/T 2243-2014
プラズマ強化化学蒸着プロセス用のコーティングされた石英管 (英語版)

規格番号
JC/T 2243-2014
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2014
出版団体
Professional Standard - Building Materials
状態
最新版
JC/T 2243-2014
に置き換えられる
KS B 4063-2014
範囲
この規格は、プラズマ強化化学蒸着プロセス用のコーティングされた石英管の用語と定義、材料、要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管を指定します。 この規格は、プレートプラズマ化学気相成長プロセスで使用されるコーティングされた石英管 (以下、PE 石英管と呼びます) に適用されます。

JC/T 2243-2014 規範的参照

  • JC/T 2066-2011 太陽電池シリコンウェーハ用石英ガラス拡散管
  • JC/T 597-2011 半導体用透明石英ガラス管
  • JC/T 598 電気光源用透明石英ガラス管

JC/T 2243-2014 発売履歴

  • 2014 JC/T 2243-2014 プラズマ強化化学蒸着プロセス用のコーティングされた石英管

JC/T 2243-2014 プラズマ強化化学蒸着プロセス用のコーティングされた石英管 は KS B 4063-2014 ストレートサイドメカニカルプレスの加工面の寸法 に変更されます。

プラズマ強化化学蒸着プロセス用のコーティングされた石英管



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