JC/T 2066-2011
太陽電池シリコンウェーハ用石英ガラス拡散管 (英語版)
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JC/T 2066-2011
規格番号
JC/T 2066-2011
言語
中国語版,
英語で利用可能
制定年
2011
出版団体
Professional Standard - Building Materials
最新版
JC/T 2066-2011
範囲
この規格は、太陽電池用シリコンウェーハ用石英ガラス拡散管(以下、石英ガラス拡散管という)の用語と定義、マーキング、材質、要件、試験方法、検査規則、マーキング、包装、輸送、保管などについて規定する。 この規格は、太陽電池シリコンウェーハの拡散プロセスに使用される、外径200mm以上、長さ2000mm以上の透明石英ガラス管に適用されます。
JC/T 2066-2011 規範的参照
JC/T 181-2011
半導体用透明石英ガラスデバイス
JC/T 597-2011
半導体用透明石英ガラス管
JC/T 2066-2011 発売履歴
2011
JC/T 2066-2011
太陽電池シリコンウェーハ用石英ガラス拡散管
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