GB/T 31227-2014
原子間力顕微鏡を用いたスパッタ膜の表面粗さの測定方法 (英語版)

規格番号

GB/T 31227-2014

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2014

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 31227-2014

範囲

この規格は、原子間力顕微鏡 (AFM) を使用して表面粗さを測定する方法を規定しています。 この規格は、スパッタリング成膜法により作製された平均粗さRa100nm未満の薄膜の測定に適用されます。 他の非スパッタ膜の表面粗さの測定は、この方法を参考にすることができます。

GB/T 31227-2014 規範的参照

• GB/T 27760-2011 Si(111) 結晶面の原子ステップを使用した原子間力顕微鏡のサブナノメートルの高さ測定を校正する方法

GB/T 31227-2014 発売履歴

• 2014 GB/T 31227-2014 原子間力顕微鏡を用いたスパッタ膜の表面粗さの測定方法