GOST R ISO 14644-9-2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9. 粒子濃度法を使用した清浄度の分類

規格番号

GOST R ISO 14644-9-2013

制定年

2013

出版団体

RU-GOST R

最新版

GOST R ISO 14644-9-2013

GOST R ISO 14644-9-2013 規範的参照

• ISO 14644-6:2007 クリーンルームと関連する管理された環境 パート 6: 語彙

GOST R ISO 14644-9-2013 発売履歴

• 2013 GOST R ISO 14644-9-2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9. 粒子濃度法を使用した清浄度の分類