KS D ISO 15632:2012
マイクロビーム分析 - 半導体検出器を備えたエネルギー分散型 X 線分光計の機器仕様
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KS D ISO 15632:2012
規格番号
KS D ISO 15632:2012
制定年
2012
出版団体
Korean Agency for Technology and Standards (KATS)
状態
入れ替わる
に置き換えられる
KS D ISO 15632:2018
最新版
KS D ISO 15632-2023
交換する
KS D ISO 15632:2007
範囲
この規格は、半導体検出器、前置増幅器、信号処理装置などの基本部品で構成されるエネルギー
KS D ISO 15632:2012 発売履歴
2023
KS D ISO 15632-2023
マイクロビーム分析: 走査型電子顕微鏡 (SEM) または電子プローブ マイクロアナライザー (EPMA) で使用するエネルギー分散型 X 線分光計 (EDS) の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査
2018
KS D ISO 15632:2018
マイクロビーム分析 - 電子プローブ微量分析用のエネルギー分散型 X 線分光計の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査
2012
KS D ISO 15632:2012
マイクロビーム分析 - 半導体検出器を備えたエネルギー分散型 X 線分光計の機器仕様
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KS D ISO 15632:2007
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