KS D ISO 15632-2023
マイクロビーム分析: 走査型電子顕微鏡 (SEM) または電子プローブ マイクロアナライザー (EPMA) で使用するエネルギー分散型 X 線分光計 (EDS) の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査

規格番号

KS D ISO 15632-2023

制定年

2023

出版団体

KR-KS

最新版

KS D ISO 15632-2023

KS D ISO 15632-2023 発売履歴

• 2023 KS D ISO 15632-2023 マイクロビーム分析: 走査型電子顕微鏡 (SEM) または電子プローブ マイクロアナライザー (EPMA) で使用するエネルギー分散型 X 線分光計 (EDS) の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査
• 2018 KS D ISO 15632:2018 マイクロビーム分析 - 電子プローブ微量分析用のエネルギー分散型 X 線分光計の選択された機器性能パラメーターの仕様と検査
• 2012 KS D ISO 15632:2012 マイクロビーム分析 - 半導体検出器を備えたエネルギー分散型 X 線分光計の機器仕様
• 0000 KS D ISO 15632:2007