YS/T 936-2013
集積回路デバイス用ニッケルバナジウム合金ターゲット (英語版)

規格番号

YS/T 936-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

Professional Standard - Non-ferrous Metal

最新版

YS/T 936-2013

範囲

この規格は、集積回路デバイス用のニッケルバナジウム合金スパッタリングターゲットの要件、試験方法、検査規則とマーキング、梱包、輸送、保管、品質証明書、契約または注文の内容を規定しています。 この規格は、電子薄膜製造に使用されるさまざまな種類のニッケルバナジウム合金スパッタリングターゲットに適用されます。

YS/T 936-2013 規範的参照

• GB/T 1031 製品の幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、プロファイル法、表面粗さパラメータとその値。
• GB/T 14265 金属材料中の水素、酸素、窒素、炭素、硫黄の分析の一般原則*， 2017-10-14 更新するには
• GB/T 6394 金属の平均粒径の求め方*， 2017-02-28 更新するには
• GJB 1580A 金属変形超音波検査*， 2019-12-08 更新するには
• YS/T 837 スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法

YS/T 936-2013 発売履歴

• 2013 YS/T 936-2013 集積回路デバイス用ニッケルバナジウム合金ターゲット