YS/T 837-2012 (英語版) スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法規格と仕様

範囲: この規格は、スパッタリングターゲットとバックプレートを組み合わせた品質検査方法、検査装置、比較試験ブロック、検査プロセス、欠陥評価および検査報告書などの一般的な要件を規定しています。この方法は、超音波縦波パルス反射液浸法Cスキャン検査技術を使用しています。。この規格は、中間層材の接合方法（はんだ付け、硬ろう付け、エポキシ樹脂接合等）によるスパッタリングターゲットとバックプレートの接合面の穴、未接合、酸化物介在等の欠陥の検査に適用されます。高品質の非破壊検査と組み合わせた他の用途の材料も参考として使用できます。

YS/T 837-2012 規範的参照

GB 5226.1 機械の安全性機械および電気機器パート 1; 一般的な技術条件*， 2019-06-04 更新するには
GB/T 11259 非破壊検査及び超音波検査用鋼製基準試験片の作成及び管理方法*， 2015-10-09 更新するには
GB/T 12604.1 非破壊検査用語超音波検査*， 2020-11-19 更新するには
GB/T 17421.1 工作機械の一般検査パート 1: 無負荷または準静的条件下での工作機械の幾何学的精度*， 2023-08-06 更新するには
GB/T 17421.2 工作機械の一般検査その2：CNC軸の位置決め精度と繰返し位置決め精度の測定*， 2023-08-06 更新するには
GB/T 18400.6 マシニングセンタの検査条件その6 送り速度、速度、補間精度の検査
GB/T 18694 非破壊検査用の超音波検査プローブとその音場の特性評価
GB/T 18852 非破壊検査、超音波検査におけるコンタクトプローブの音響ビーム特性を測定するための参考検査ブロックおよび方法*， 2020-11-19 更新するには
GB/T 9445 非破壊検査員の資格・認定*， 2015-12-10 更新するには
GJB 1580A 金属変形超音波検査*， 2019-12-08 更新するには
GJB 9712A 非破壊検査員の資格・認定
JB/T 8771.4 マシニングセンタ検査条件その4：直線軸と回転軸の位置決め精度と繰返し精度の検査
JB/T 9269 産業用制御コンピュータシステムの設置環境条件