GB/T 29658-2013
電子薄膜用高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲット (英語版)

規格番号

GB/T 29658-2013

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2013

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 29658-2013

範囲

この規格は、電子薄膜の作製に使用される高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金ターゲットの要件、試験方法、検査規則および標識、梱包、輸送、保管、注文書（または契約書）などの内容を規定しています。 この規格は、電子薄膜用のあらゆる種類の高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲット（以下、アルミニウムターゲットという）に適用されます。

GB/T 29658-2013 規範的参照

• GB/T 14265 金属材料中の水素、酸素、窒素、炭素、硫黄の分析の一般原則*， 2017-10-14 更新するには
• GB/T 15823 非破壊検査、ヘリウムリーク検出方法
• GB/T 1804 一般公差 公差を記載しない直線寸法および角度寸法の公差
• GB/T 20975.25 アルミニウムおよびアルミニウム合金の化学分析方法 第 25 部: 誘導結合プラズマ発光分析法による元素含有量の測定*， 2020-06-02 更新するには
• GB/T 6394 金属の平均粒径の求め方*， 2017-02-28 更新するには
• GJB 1580A 金属変形超音波検査*， 2019-12-08 更新するには
• JB/T 4734 アルミ溶接容器
• YS/T 837 スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法
• YS/T 871 純アルミニウムの化学分析方法～微量不純物元素の定量～グロー放電質量分析法*， 2023-12-20 更新するには

GB/T 29658-2013 発売履歴

• 2013 GB/T 29658-2013 電子薄膜用高純度アルミニウムおよびアルミニウム合金スパッタリングターゲット