BS EN ISO 14644-10:2013
クリーンルームおよび関連する管理環境 化学物質濃度による表面清浄度の分類
- 規格番号
- BS EN ISO 14644-10:2013
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- British Standards Institution (BSI)
- 状態
- 2022-07
- に置き換えられる
- BS EN ISO 14644-10:2022
- 最新版
- BS EN ISO 14644-10:2022
BS EN ISO 14644-10:2013 発売履歴
- 2022 BS EN ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価
- 2013 BS EN ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 化学物質濃度による表面清浄度の分類
