BS EN ISO 14644-10:2022
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価

規格番号

BS EN ISO 14644-10:2022

制定年

2022

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 14644-10:2022

範囲

適用範囲 この文書は、化合物または元素 (分子、イオン、原子、粒子を含む) の存在に関して、クリーンルーム内の表面の清浄度を判断するための適切な試験プロセスを確立します。 この文書は、クリーンルーム内のすべての固体表面と、壁、天井、床、作業面、工具、機器、装置などの関連する管理された環境に適用されます。 注 1 この文書では、粒子の化学的特性のみを考慮します。 粒子の物理的特性は考慮されておらず、この文書では汚染と表面の間の相互作用については説明していません。 注 2 この文書には、汚染生成プロセス、時間依存の影響 (堆積、沈降、老化など)、または輸送や取り扱いなどのプロセス依存の活動は含まれていません。 また、コンプライアンスを確保するための統計的品質管理手法に関するガイダンスも含まれていません。

BS EN ISO 14644-10:2022 発売履歴

• 2022 BS EN ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価
• 2013 BS EN ISO 14644-10:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 化学物質濃度による表面清浄度の分類