ISO 16413:2013
X線反射率測定で使用される薄膜の厚さ、密度、界面幅の評価、機器の設置、校正と位置決め、データ収集、データ分析とレポート作成
- 規格番号
- ISO 16413:2013
- 制定年
- 2013
- 出版団体
- International Organization for Standardization (ISO)
- 状態
- に置き換えられる
- ISO 16413:2020
- 最新版
- ISO 16413:2020
ISO 16413:2013 発売履歴
- 2020 ISO 16413:2020 X線反射率測定による膜厚密度と界面幅の評価 - 機器の位置合わせと位置決めが必要 データ収集 データ分析とレポート作成
- 2013 ISO 16413:2013 X線反射率測定で使用される薄膜の厚さ、密度、界面幅の評価、機器の設置、校正と位置決め、データ収集、データ分析とレポート作成
