ASTM E984-12
オージェ電子分光法を使用して化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド

規格番号
ASTM E984-12
制定年
2012
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E984-12(2020)
最新版
ASTM E984-12(2020)
範囲
4.1 オージェ電子分光法では、多くの場合、元素情報や定量情報だけでなく、固体の表面付近の原子の化学的および物理的環境に関する情報も得られます。 この情報は、研究対象の試料内の特定の元素について観察されたオージェ電子スペクトルの、同じ元素が何らかの参照形式にあるときに生成されるオージェ スペクトルと比較した変化として現れます。 2 つのスペクトルの違いは、化学効果またはマトリックス効果によるものであると言われています。 元素の同定や定量的測定がより困難になる場合もありますが、オージェスペクトルにおけるこれらの効果は、固体内の表面近くの原子の環境を特徴付けるための貴重なツールと考えられています。 1.1 このガイドでは、オージェ電子分光法で観察される化学効果とマトリックス効果の種類について概説します。 1.2 オージェスペクトルにおける化学効果およびマトリックス効果の報告に関するガイドラインが示されています。 1.3 オージェの化学効果を同定または特性評価に利用するためのガイドラインが示されています。 1.4 このガイドは、電子励起オージェ電子分光法と X 線励起オージェ電子分光法の両方に適用されます。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E984-12 規範的参照

  • ASTM E673 表面解析に関する標準用語
  • ASTM E827 オージェ電子分光法のピークによって元素を識別するための標準的な手法
  • ASTM E983 オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
  • ASTM E996 オージェ電子分光法および X 線光電子分光法データを報告するための標準的な方法

ASTM E984-12 発売履歴

  • 2020 ASTM E984-12(2020) オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド
  • 2012 ASTM E984-12 オージェ電子分光法を使用して化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド
  • 2006 ASTM E984-06 化学効果およびマトリックス効果の同定におけるオージェ電子分光法の応用に関する標準ガイド
  • 1995 ASTM E984-95(2001) オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド
  • 2001 ASTM E984-95 オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド
オージェ電子分光法を使用して化学効果とマトリックス効果を特定するための標準ガイド



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