ASTM E983-94(1999)
オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド

規格番号
ASTM E983-94(1999)
制定年
1994
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E983-04
最新版
ASTM E983-19
範囲
1.1 このガイドでは、オージェ電子分光法 (AES) における不要な電子ビーム効果の起源と発現について概説します。 1.2 これらの影響を生み出す可能性が最も高い電子ビームパラメータに関して、いくつかの一般的なガイドラインが提供されています。 1.3 望ましくない電子ビーム効果を示す可能性が最も高い材料の一般的なクラスが特定されます。 さらに、電子損傷の影響を受けることが観察されているいくつかの特定の材料の表が提供されます。 1.4 日常的な AES 分析中にこれらの影響の存在と範囲を確立するための簡単な方法の概要が説明されています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E983-94(1999) 発売履歴

  • 2019 ASTM E983-19 オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
  • 2018 ASTM E983-10(2018) オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
  • 2010 ASTM E983-10 オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を測定するための標準ガイド
  • 2005 ASTM E983-05 オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
  • 2004 ASTM E983-04 オージェ電子分光法における不要な電子ビーム効果を最小限に抑えるための標準ガイド
  • 1994 ASTM E983-94(1999) オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド



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