ASTM F1394-92(2012)
ガス分配システムバルブの粒度分布を測定するための標準試験方法
- 規格番号
- ASTM F1394-92(2012)
- 制定年
- 1992
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM F1394-92(2020)
- 最新版
- ASTM F1394-92(2020)
- 範囲
- 1.1 この試験方法は、高純度ガス分配システムへの設置を目的としたガス分配システムのコンポーネントを対象としています。 1.1.1 この試験方法は、過酷な条件下で試験されたバルブの微粒子発生性能の統計的に有意な比較を行うために設計された手順について説明します。 1.1.2 この試験方法は、特定のバルブの試験後に進行中の粒子の性能を監視するための方法を意図したものではありません。 1.2 このテスト方法は、半導体アプリケーションで通常使用されるインライン ガス バルブに適用される凝縮核カウンター (CNC) を利用します。 サイズ 6.3 ～ 12.7 mm (1/4 ～ 1/2 インチ) のさまざまなタイプ (ダイヤフラムやベローズなど) の自動および手動バルブに適用されます。 この試験方法の大型バルブへの適用については、付録の表を参照してください。 1.2.1 12.7 mm (1/2 インチ) より大きいバルブは、この方法でテストできます。 テストスタンドはそれに応じたサイズにする必要があります。 12.7 mm (1/2 インチ) を超えるコンポーネントは、レイノルズ数 208201;000 ～ 218201;000 を維持しながらテストする必要があります。 これは、30.5 m/s (100 ft/s) の速度でテストされた 12.7 mm (1/2 インチ) コンポーネントのレイノルズ数です。 1.3 制限: 1.3.1 この試験方法は、凝縮核粒子カウンターおよびドープの最小検出限界 (MDL) を超える総粒子数に適用されます。
ASTM F1394-92(2012) 発売履歴
- 2020 ASTM F1394-92(2020) ガス分配システムのバルブからの粒子の寄与を判定するための標準的な試験方法
- 1992 ASTM F1394-92(2012) ガス分配システムバルブの粒度分布を測定するための標準試験方法
- 1992 ASTM F1394-92(2005) ガス分配システムのバルブからの粒子含有量を測定するための標準試験方法
- 1992 ASTM F1394-92(1999) ガス分配システムのバルブからの粒子の寄与を判定するための標準的な試験方法
