ASTM F1394-92(2020)
ガス分配システムのバルブからの粒子の寄与を判定するための標準的な試験方法

規格番号

ASTM F1394-92(2020)

制定年

2020

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F1394-92(2020)

範囲

1.1 この試験方法は、高純度ガス分配システムへの設置を目的としたガス分配システムのコンポーネントを対象としています。 1.1.1 この試験方法は、過酷な条件下で試験されたバルブの微粒子発生性能の統計的に有意な比較を行うために設計された手順について説明します。 1.1.2 この試験方法は、特定のバルブの試験後に進行中の粒子の性能を監視するための方法を意図したものではありません。 1.2 このテスト方法は、半導体アプリケーションで通常使用されるインライン ガス バルブに適用される凝縮核カウンター (CNC) を利用します。 サイズ 6.3 ～ 12.7 mm (1⁄4 ～ 1⁄2 インチ) のさまざまなタイプ (ダイヤフラムやベローズなど) の自動および手動バルブに適用されます。 この試験方法の大型バルブへの適用については、付録の表を参照してください。 1.2.1 12.7 mm (1⁄2 インチ) より大きいバルブは、この方法でテストできます。 テストスタンドはそれに応じたサイズにする必要があります。 12.7 mm (1⁄2 インチ) より大きいコンポーネントは、レイノルズ数 20,000 ～ 21,000 を維持しながらテストする必要があります。 これは、速度 12.7 mm (1⁄2 インチ) でテストされる 12.7 mm (1⁄2 インチ) コンポーネントのレイノルズ数です。 30.5 m/秒 (100 フィート/秒)。 1.3 制限: 1.3.1 この試験方法は、凝縮核粒子計数器の最小検出限界 (MDL) を超える総粒子数に適用され、データをさまざまなサイズ範囲に分類することは考慮されていません。 1.3.1.1 統計的有意性を持ってスプールピースから生成されたデータと比較するために、非動的コンポーネント (継手や短いチューブなど) から有意なデータを生成できるかどうかは疑問です。 このため、このテスト方法では、これらのタイプのコンポーネント間の比較を確実にサポートできません。 1.3.1.2 レーザー粒子計数器 (LPC) 技術のサイズ範囲内の粒子の検出または分類、またはその両方に関心がある場合は、コンポーネントのテストに LPC を利用できます。 この試験方法で概説されている流量、試験時間、サンプリング装置、およびデータ分析は、LPC での使用には適用されません。 これらのばらつきのため、CNC からのデータは LPC からのデータと比較できません。 1.3.2 この試験方法は、典型的と考えられる条件を超える流れおよび機械的応力条件を指定します。 これらの条件は、メーカーが推奨する条件を超えてはなりません。 通常の動作条件下での実際のパフォーマンスは異なる場合があります。 1.3.3 試験方法は窒素または清浄な乾燥空気に限定されます。 他のガスを使用した場合の性能は異なる場合があります。 1.3.4 この試験方法は、6 か月の経験と同等のレベルで装置の使用を理解しているオペレーターによる使用を目的としています。 1.3.5 この試験方法を使用する場合は、適切な粒子計数器メーカーの操作および保守マニュアルを参照する必要があります。 1.4 SI 単位で記載されている値は標準とみなします。 括弧内のインチポンド単位は情報提供のみを目的としています。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全、健康、および環境慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断するのは、この規格のユーザーの責任です。 具体的な危険性に関する記述は、セクション 6「危険性」に記載されています。 1.6 この国際規格は、次の原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。 1 この試験方法は、電子工学に関する ASTM 委員会 F01 の管轄下にあり、汚染管理に関する小委員会 F01.10 の直接の責任です。 現在の版は 2020 年 4 月 15 日に承認されました。 2020 年 5 月に発行されました。 最初は 1992 年に承認されました。 最後の前版は 2012 年に F1394–92(2012) として承認されました。 DOI: 10.1520/F1394-92R20。 著作権 © ASTM International、100 Barr Harbor Drive、PO Box C700、West Conshohocken、PA 19428-2959。 米国 この国際規格は、世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された、国際標準、ガイドおよび推奨の開発のための原則に関する決定で確立された、国際的に認められた標準化原則に従って開発されました。 世界貿易機関貿易技術障壁 (TBT) 委員会によって発行された国際規格、ガイドおよび推奨事項の開発。

ASTM F1394-92(2020) 発売履歴

• 2020 ASTM F1394-92(2020) ガス分配システムのバルブからの粒子の寄与を判定するための標準的な試験方法
• 1992 ASTM F1394-92(2012) ガス分配システムバルブの粒度分布を測定するための標準試験方法
• 1992 ASTM F1394-92(2005) ガス分配システムのバルブからの粒子含有量を測定するための標準試験方法
• 1992 ASTM F1394-92(1999) ガス分配システムのバルブからの粒子の寄与を判定するための標準的な試験方法