GB/T 17359-2012
マイクロビーム解析、エネルギー分光法による定量分析 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 17359-2012
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2024-07
- に置き換えられる
- GB/T 17359-2023
- 最新版
- GB/T 17359-2023
- 交換する
- GB/T 17359-1998
- 範囲
- この規格は、走査型電子顕微鏡（SEM）や電子顕微鏡（EPMA）に搭載されたエネルギー分光計を用いて、試料上の特定の点または特定の領域を定量分析する方法を規定しています。 定量分析とは、元素の含有量を質量分率（またはパーセンテージ）で表すことを指します。 サンプル中のすべての元素を適切に特定することは定量分析の重要な部分であるため、この規格はこの側面もカバーしています。 この規格は、エネルギー分光法によるさまざまな定量分析方法を提供します。 この標準は、標準物質または「標準サンプルなし」手順を使用した、質量分率が 1% を超える元素の定量分析に適しています。 この規格は、原子番号 10 を超える元素の分析において高い信頼性を持っています。 この規格は、原子番号 11 未満の軽元素の分析方法も規定しています。 現在、認識されている正確なエネルギー分光計 (EDS) 定量分析方法はありません。 軽い元素の場合。 以下に、軽元素分析に一般的に使用されるいくつかの EDS メソッドを示します。 a) ピーク面積を測定し、ピーク強度を比較します。 付録 D で説明されている理由により、この方法では、重元素よりも軽元素の分析結果の不確実性が大きくなります。 b) サンプル中の軽元素が重元素と化学量論的に結合していることがわかっている場合 (Z>10)、この軽元素の濃度は他の元素の相対濃度比から決定できます。 この方法は通常、ケイ酸塩鉱物サンプル中の酸素の測定に使用されます。 c) 差分法により濃度を計算します。 つまり、100% から分析できる元素の合計パーセンテージを引いて、軽元素のパーセンテージを取得します。 この方法は、ビームの安定性が良好で、少なくとも 1 つの参照サンプルのみを測定する条件下でのみ適用でき、サンプル内の他の元素を正確に測定する必要があります。 付録 D では、重元素の存在下での軽元素の定量分析の問題点をまとめています。 エネルギー分光計と分光計 (WDS) が機器にインストールされている場合、WDS を使用して EDS 分析における低エネルギー スペクトル ピークの重複問題を解決できます。
GB/T 17359-2012 規範的参照
- GB/T 20726-2006 半導体検出器X線分光器の一般原理
- GB/T 27025-2008 試験所および校正機関の能力に関する一般要件
- ISO 14594 微小電子ビーム分析、電子検出微量分析、波長分散分光法の実験パラメータ決定のガイド。*， 2014-10-01 更新するには
- ISO 16700:2004 微小電子ビーム分析、走査型電子顕微鏡、校正された画像倍率のガイド。
GB/T 17359-2012 発売履歴
- 2023 GB/T 17359-2023 原子番号11以上の元素のマイクロビーム分析とエネルギー分光分析による定量分析
- 2012 GB/T 17359-2012 マイクロビーム解析、エネルギー分光法による定量分析
- 1998 GB/T 17359-1998 電子プローブおよび走査型電子顕微鏡を使用した X 線エネルギー分光法の定量分析の一般原理
