GB/T 28277-2012
シリコンベースのMEMS製造技術、マイクロボンディングゾーンのせん断強度と引張圧縮強度の検出方法 (英語版)

規格番号

GB/T 28277-2012

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2012

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 28277-2012

範囲

この規格は、シリコンベースの MEMS の加工に含まれる小さな接合領域の接合強度をテストするための要件とテスト方法を指定します。 この規格は、マイクロエレクトロニクス技術および関連する微細加工技術によって製造された小さな接合領域のせん断強度、引張強度、圧縮強度の試験に適用されます。

GB/T 28277-2012 規範的参照

• GB/T 19022-2003 測定管理システムの測定プロセスと測定機器の要件
• GB/T 26111-2010 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語

GB/T 28277-2012 発売履歴

• 2012 GB/T 28277-2012 シリコンベースのMEMS製造技術、マイクロボンディングゾーンのせん断強度と引張圧縮強度の検出方法