GB/T 26111-2010
微小電気機械システム (MEMS) の専門用語 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 26111-2010
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2023-09
- に置き換えられる
- GB/T 26111-2023
- 最新版
- GB/T 26111-2023
- 範囲
- この規格は、MEMS 分野に関連する材料、設計、加工、パッケージング、測定およびデバイスの一般的な用語と定義を指定します。 この規格は、MEMS 分野の研究、開発、評価、応用に適用されます。
GB/T 26111-2010 規範的参照
- GB/T 2900.66-2004 電気用語 半導体デバイスおよび集積回路
GB/T 26111-2010 発売履歴
- 2023 GB/T 26111-2023 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語
- 2011 GB/T 26111-2010 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語
