GB/T 28276-2012
シリコンベースのMEMS製造技術 バルクシリコンウェーハプロセス仕様 (英語版)

規格番号

GB/T 28276-2012

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2012

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 28276-2012

範囲

この規格は、バルクシリコン可溶ウェーハ処理技術を使用して MEMS デバイスを処理する際に従うべきプロセス要件とプロセス評価仕様を指定します。 この規格は、バルクシリコン溶解プロセスの処理および品質検査に適用されます。

GB/T 28276-2012 規範的参照

• GB 50073-2001 クリーンプラント設計仕様
• GB/T 19022-2003 測定管理システムの測定プロセスと測定機器の要件
• GB/T 26111-2010 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語

GB/T 28276-2012 発売履歴

• 2012 GB/T 28276-2012 シリコンベースのMEMS製造技術 バルクシリコンウェーハプロセス仕様