GB/T 28275-2012
シリコンベースのMEMS製造技術 水酸化カリウムエッチングプロセス仕様 (英語版)

規格番号

GB/T 28275-2012

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2012

出版団体

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

最新版

GB/T 28275-2012

範囲

この規格は、MEMS デバイスの処理に水酸化カリウム腐食プロセスを使用する場合に従うべきプロセス要件を指定します。 この規格は、水酸化カリウムの腐食プロセスと管理に適用されます。

GB/T 28275-2012 規範的参照

• GB 50073-2001 クリーンプラント設計仕様
• GB/T 1031-2009 製品の幾何学的仕様 (GPS)、表面構造、プロファイル法、表面粗さパラメータとその値。
• GB/T 26111-2010 微小電気機械システム (MEMS) の専門用語

GB/T 28275-2012 発売履歴

• 2012 GB/T 28275-2012 シリコンベースのMEMS製造技術 水酸化カリウムエッチングプロセス仕様