GB/T 11164-2011
真空成膜装置の一般的な技術条件 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 11164-2011
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 最新版
- GB/T 11164-2011
- 交換する
- GB/T 11164-1999
- 範囲
- この規格は、真空コーティング装置の技術要件、試験方法、検査規則、およびマーキング、梱包、輸送および保管に関する要件を規定しています。 この規格は、圧力が10-5Paから10-3Paの範囲の真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング等の真空成膜装置（以下、装置という）に適用されます。
GB/T 11164-2011 規範的参照
- GB 18209.1-2010 機械および電気の安全指示、標識および操作 パート 1: 視覚、聴覚、および触覚信号の要件
- GB 5226.1-2008 機械的および電気的安全性 機械的および電気的設備 パート 1: 一般的な技術条件
- GB/T 13306-2011 看板
- GB/T 13384-2008 機械および電気製品の梱包に関する一般的な技術条件
- GB/T 15945-2008 電力品質、電力システムの周波数偏差
- GB/T 191-2008 包装、保管、輸送の絵標識
- GB/T 3163-2007 真空技術 用語
- GB/T 6070-2007 真空技術。 フランジ寸法
- JB/T 7673 真空技術 真空装置モデル作成方法*， 2011-12-20 更新するには
GB/T 11164-2011 発売履歴
- 2011 GB/T 11164-2011 真空成膜装置の一般的な技術条件
- 1999 GB/T 11164-1999 真空成膜装置の一般的な技術条件
