BS EN ISO 6145-7:2010 ガス分析動的容量法による校正ガス混合物の調製サーマルマスフローコントローラー規格と仕様

範囲: ISO 6145 のこの部分は、校正ガス混合物の調製に使用される動的容積測定法を扱う一連の国際規格の 1 つです。この部分では、市販のサーマルマスフローコントローラーを使用して、純粋なガスまたは他のガス混合物から 2 つ以上の成分を含む校正ガス混合物を連続的に生成する方法を規定します。この方法を校正ガス混合物の調製に使用した場合、最適なパフォーマンスは次のようになります。組み合わせた標準不確かさにカバレッジ係数 k = 2 を乗算して得られる測定の相対拡張不確かさ U は 2 % 以下です。。純粋なガスの代わりに予混合ガスを使用すると、10 未満のモル分率が得られます。質量流量の測定は絶対的なものではなく、流量コントローラーには独立した校正が必要です。この方法の利点は、大量のガス混合物を連続的に調製できること、および適切な数のサーマルマスフローコントローラーを使用すれば、二成分混合物と同じくらい容易に多成分混合物を調製できることです。注記熱式質量流量制御装置に基づくガス混合システムは、コンピュータ化および自動制御の機能を備えたものも市販されている。

BS EN ISO 6145-7:2010 規範的参照