BS EN ISO 6145-7:2018
動的手法を使用して校正済みガス混合物を調製するガス分析 熱式質量流量コントローラー

規格番号

BS EN ISO 6145-7:2018

制定年

2019

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 6145-7:2018

範囲

この規格は何についてのものですか? ISO 6145 は、校正ガス混合物の調製に使用されるさまざまな動的手法を扱う一連の文書です。 この文書は、サーマルマスフローコントローラを使用して、名目上純粋なガスまたはガス混合物から校正ガス混合物を連続的に調製する方法を規定しています。 この方法は、非反応種の混合物、すなわち熱式質量流量コントローラーまたは補助装置内の流路の構成材料と反応しないものの混合物の調製に適用可能である。 この方法を校正ガス混合物の調製に使用した場合、最適なパフォーマンスは次のようになります。 標準不確かさにカバレッジ係数 k = 2 を乗じて得られる相対拡張測定不確かさ U は 2 % 以下です。 純粋なガスの代わりに予混合ガスを使用すると、10-6 未満のモル分率が得られます。 質量流量の測定は絶対的なものではなく、流量コントローラーには独立した校正が必要です。 この方法の利点は、大量の校正ガス混合物を連続的に調製できること、および適切な数のサーマルマスフローコントローラーを使用すれば、多成分混合物を二成分混合物と同じくらい簡単に調製できることです。 注記 熱式質量流量コントローラーに基づくガス混合システムや、コンピューター化および自動制御の機能を備えたものは市販されています。

BS EN ISO 6145-7:2018 発売履歴

• 2019 BS EN ISO 6145-7:2018 動的手法を使用して校正済みガス混合物を調製するガス分析 熱式質量流量コントローラー
• 2009 BS EN ISO 6145-7:2010 ガス分析 動的容量法による校正ガス混合物の調製 サーマルマスフローコントローラー