ASTM E498/E498M-11
質量分析計リーク検出器またはトレーサープローブ方式の残留ガス分析器を使用したリークテストの標準操作手順

規格番号
ASTM E498/E498M-11
制定年
2011
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E498/E498M-11(2017)
最新版
ASTM E498/E498M-11(2022)
範囲
試験方法 A は、構造的に 0.1 Pa (約 10-3 torr) の圧力まで排気できるコンポーネントのリーク試験で最も頻繁に使用されます。 小型コンポーネントのテストは、校正されたリークと関連付けることができ、実際のリーク率を測定したり、最大許容リークに基づいて合格を判定したりすることができます。 ほとんどの生産ニーズでは、部品の漏れが確立された基準未満であることが受け入れられ、コンポーネントの予測寿命にわたって安全な性能が保証されます。 大規模なシステムがテストボリューム上の代表的な場所で基準リークを使用して校正されるように注意する必要があります。 リーク率は、デバイスの予想寿命中に故障を引き起こす可能性があるテスト部品のリークによる正味の利得または損失を計算することによって決定されます。 テスト方法 B は、新しいシステムの最終テストのステップとして、または製造、環境テスト、または部品の調整に使用される装置のメンテナンス手順として真空システムをテストするために使用されます。 音量が大きくなる傾向があるため、システム感度だけでなく応答時間もチェックする必要があります。 システムの容積 (リットル) を真空ポンプの速度 (L/s) で割ると、信号全体の 63 % に達するまでの応答時間が求められます。 応答時間が数秒を超えると、漏れの検出が困難になります。 テスト方法 C は、漏れ検出器を高真空ポンプの出口に接続する便利な方法がない場合にのみ使用されます。 ヘリウムリーク検出器が使用され、高真空ポンプがイオンポンプまたはクライオポンプである場合、これらのポンプは高真空チャンバー内に比較的高い割合のヘリウムを残すため、粗引きサイクル中にリークテストを行うのが最適です。 これにより、大きな漏れ以外はすべて隠蔽され、微量ガスがすぐにポンプを飽和させます。 1.1 この実践では、1 の割合で漏れるガスの発生源をテストして特定する手順を取り上げます。 10&#−8 Pa m3/s (1 &#× 10−9 Std cm 3/s) 以上。 テストは、真空にすることができ、その反対側にヘリウムまたは他のトレーサガスを適用できる任意のテスト対象物体に対して実行できます。 1.2 3 つの試験方法について説明します。 1.2.1 試験方法 A8212; 排気は可能ですが、固有のポンプ能力を持たない試験対象物用。 1.2.2 試験方法 B8212; 一体型ポンプ機能を備えた試験対象物用。 1.2.3 試験方法 C8212; 試験方法 B と同様の試験対象物用。 試験対象物の真空ポンプが漏れ検出器で通常使用されているポンプの代わりに使用されます。 1.3 単位 8212;SI 単位または std-cc/sec 単位で記載された値は、標準として個別にみなされるものとします。 各システムに記載されている値は完全に同等ではない可能性があるため、各システムは互いに独立して使用する必要があります。 2 つのシステムの値を組み合わせると、規格に準拠しない可能性があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E498/E498M-11 発売履歴

  • 2022 ASTM E498/E498M-11(2022) 質量分析計リーク検出器または検出モードの残留ガス分析器を使用したリークの標準的な方法
  • 2017 ASTM E498/E498M-11(2017) 質量分析計リーク検出器または検出モードの残留ガス分析器を使用したリークの標準的な方法
  • 2011 ASTM E498/E498M-11 質量分析計リーク検出器またはトレーサープローブ方式の残留ガス分析器を使用したリークテストの標準操作手順
  • 1995 ASTM E498-95(2006) トレーサープローブ法における質量分析計リークディテクターまたは残留ガス分析装置を使用したリーク検出の試験方法
  • 1995 ASTM E498-95(2000) 質量分析計リーク検出器または検出モードの残留ガス分析器を使用したリークの標準的な方法


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