ASTM E498-95(2000) 質量分析計リーク検出器または検出モードの残留ガス分析器を使用したリークの標準的な方法規格と仕様

範囲: 1.1 これらの試験方法は、4.5 X 10 -14 mol/s (1 X 10 -9 Std cm3/s) 以上の速度で漏れるガスの発生源を試験および特定するための手順をカバーします。テストは、真空にすることができ、その反対側にヘリウムまたは他のトレーサガスを適用できる任意のテスト対象物体に対して実行できます。 1.2 3 つの試験方法について説明します。 1.2.1 試験方法 A - 排気は可能ですが、固有のポンプ能力を持たない試験対象物について。 1.2.2 試験方法 B - 一体型ポンプ機能を備えた試験対象物用。 1.2.3 試験方法 C - 試験方法 B と同様の試験対象物の場合、試験対象物の真空ポンプがリーク検出器で通常使用されている真空ポンプの代わりに使用されます。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。具体的な危険有害性情報は 19.2 に記載されています。

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