ASTM E493/E493M-11
インサイドアウト試験法を使用した質量分析計リーク検出器を使用したリーク試験の標準操作手順

規格番号
ASTM E493/E493M-11
制定年
2011
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM E493/E493M-11(2017)
最新版
ASTM E493/E493M-11(2022)
範囲
方法 A または B は、内部容積を備えた密封されたデバイスをテストする場合に役立ちます。 マイクロ電子デバイスの最大許容リーク率は、予測寿命にわたって空気、水蒸気、その他の汚染物質の侵入によって性能特性が影響を受けないことを保証するために確立されています。 爆撃圧力、爆撃時間、爆撃後の滞留時間の制御には注意が必要です。 そうしないと、結果が大幅に変化する可能性があります。 1.1 この実践では、半導体、密閉リレー、火工品デバイスなど、テスト前に密閉されたデバイスのテスト手順を対象としています。 エンクロージャの壁からの漏れなど。 これらは、さまざまな程度の感度で使用できます (内容積、エンクロージャの強度、テストの準備に使用できる時間、およびエンクロージャの材料のヘリウムの収着特性に応じて)。 一般的に、感度限界は 10−10 ～ 10−6 Pa m3/s (10−9 標準 cm3/s ～ 10−5 標準 cm3/s) です。 ただし、状況によってはどちらの方向でもこれらの制限を数十年超える可能性があります。 1.2 2 つの試験方法について説明します。 1.2.1 試験方法 A8212; 爆撃による試験部品の準備。 1.2.2 試験方法 B8212;事前充填による部品の準備を試験します。 1.3 単位 8212;SI 単位または std-cc/sec 単位で記載された値は、標準として個別にみなされるものとします。 各システムに記載されている値は完全に同等ではない可能性があるため、各システムは互いに独立して使用する必要があります。 2 つのシステムの値を組み合わせると、規格に準拠しない可能性があります。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM E493/E493M-11 発売履歴

  • 2022 ASTM E493/E493M-11(2022) インサイドアウト試験モードで質量分析リーク検出器を使用したリークの標準的な手法
  • 2017 ASTM E493/E493M-11(2017) インサイドアウト試験モードで質量分析リーク検出器を使用したリークの標準的な手法
  • 2011 ASTM E493/E493M-11 インサイドアウト試験法を使用した質量分析計リーク検出器を使用したリーク試験の標準操作手順
  • 2006 ASTM E493-06 二重テストモードで質量分析計リークディテクタを使用したリーク検出の標準テスト方法
  • 1997 ASTM E493-97 インサイドアウト試験法における質量分析計リークディテクターを使用したリーク検出の試験方法


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