ASTM E493-97 インサイドアウト試験法における質量分析計リークディテクターを使用したリーク検出の試験方法規格と仕様

範囲: 1.1 これらの試験方法は、半導体、密閉リレー、発火装置など、試験前に密閉されたデバイスの筐体の壁からの漏れを試験する手順を対象としています。これらは、さまざまな程度の感度で使用できます (内容積、エンクロージャの強度、テストの準備に使用できる時間、およびエンクロージャの材料のヘリウムの収着特性に応じて)。一般に、ヘリウムの感度限界は 4.4 X 10 -15 ～ 4.4 X 10 -11 モル/秒 (0176 ℃で 10 -9 標準 cm/秒～ 10 -5 標準 cm/秒) ですが、これらの限界を超える場合もあります。状況によっては、どちらの方向に行っても数十年かかる場合があります。 1.2 2 つの試験方法について説明します。 1.2.1 試験方法 A - 爆撃による部品の準備を試験します。 1.2.2 試験方法 B - 事前充填による部品の準備を試験します。 1.3 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

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