ASTM F2405-04(2011)
高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、高純度銅中の微量金属不純物の測定のための標準試験方法

規格番号

ASTM F2405-04(2011)

制定年

2004

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

最新版

ASTM F2405-04(2011)

範囲

この試験方法は、薄膜メタライゼーション プロセスで使用される材料 (スパッタリング ターゲット、蒸発源など) の純度を評価するために半導体産業に適用することを目的としています。 この試験方法は、関係者間で合意されたとおり、担当技術委員会が想定していない追加の用途にも役立つ可能性があります。 この試験方法は、銅中の微量不純物を測定するためのプロトコルとパラメータを統一するために、さまざまな研究所の GDMS アナリストが使用することを目的としています。 目的は、分析データの研究室間の合意を改善することです。 このテスト方法は、GDMS 分析のユーザーが決定方法と、報告された GDMS データの重要性と信頼性を理解するための補助として使用することも目的としています。 ほとんどの金属種の場合、ルーチン分析の検出限界は 0.01 wt.% 程度です。 ppm。 特別な予防措置を講じれば、検出限界をサブ ppb レベルにすることが可能です。 この試験方法は、電子グレードの銅材料の製造者およびユーザーの基準となる方法として使用できます。 1.1 この試験方法は、高純度 (微量金属に関して純度 99.95 wt.%、またはそれ以上の純度) の微量金属不純物の濃度を対象としています。 不純物）電子グレードの銅。 1.2 この試験方法は、磁場型グロー放電質量分析計 (GDMS) による分析に関連します。 1.3 このテスト方法には、GDMS 分析を完了するために必要なすべての情報が含まれているわけではありません。 必要な感度を達成するには、経験豊富なオペレーターが巧みに使用する高度なコンピューター制御の実験装置が必要です。 この試験方法は、高純度銅分析の信頼性に影響を与えると担当技術委員会によって知られている特定の要素 (たとえば、試料の調製、相対感度係数の設定、検出限界の決定など) をカバーしています。 1.4 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F2405-04(2011) 規範的参照

• ASTM E135 金属、鉱石および関連材料の分析化学に関する標準用語
• ASTM E173 
• ASTM E180 工業用化学物質の分析および試験のための ASTM 方法の精度を決定するための標準実務
• ASTM E691 試験方法の精度を決定するための研究所間研究
• ASTM E876 スペクトルデータの評価における統計の使用に関する標準慣行 (2003 年に撤回)
• ASTM F1593 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法

ASTM F2405-04(2011) 発売履歴

• 2004 ASTM F2405-04(2011) 高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、高純度銅中の微量金属不純物の測定のための標準試験方法
• 2004 ASTM F2405-04 高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した、高純度銅中の微量金属不純物の測定のための標準試験方法