ASTM F1593-97(2002)
高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法

規格番号

ASTM F1593-97(2002)

制定年

1997

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1593-08

最新版

ASTM F1593-08(2016)

範囲

この試験方法は、薄膜メタライゼーション プロセスで使用される材料 (スパッタリング ターゲット、蒸発源など) の純度を評価するために半導体産業に適用することを目的としています。 この試験方法は、関係者が合意したとおり、担当技術委員会が想定していない追加の用途にも役立つ可能性があります。 この試験方法は、純アルミニウム中の微量不純物を測定するためのプロトコルとパラメータを統一するために、さまざまな研究室の GDMS アナリストが使用することを目的としています。 目的は、分析データの研究室間の合意を改善することです。 このテスト方法は、GDMS 分析のユーザーが決定方法と、報告された GDMS データの重要性と信頼性を理解するための補助として使用することも目的としています。 ほとんどの金属種の場合、日常分析の検出限界は 0.01 重量 ppm 程度です。 特別な予防措置を講じれば、検出限界をサブ ppb レベルにすることが可能です。 この試験方法は、電子グレードのアルミニウム材料の製造者およびユーザーの基準となる方法として使用できます。 1.1 この試験方法は、高純度アルミニウム中の微量金属不純物の濃度の測定を対象としています。 1.2 この試験方法は、磁場型グロー放電質量分析計 (GDMS) による分析に関連します。 1.3 アルミニウム マトリックスは、金属不純物に関して 99.9 重量 % (3N グレード) 純度、またはそれ以上の純度でなければなりません。 シリコンや銅などの主要な合金成分が 1000 重量 ppm を超える濃度であってはなりません。 1.4 このテスト方法には、GDMS 分析を完了するために必要なすべての情報が含まれているわけではありません。 必要な感度を達成するには、経験豊富なオペレーターが巧みに使用する高度なコンピューター制御の実験装置が必要です。 この試験方法は、高純度アルミニウム分析の信頼性に影響を与えると担当技術委員会によって知られている特定の要素 (たとえば、試料の準備、相対感度係数の設定、感度限界の決定など) をカバーしています。

ASTM F1593-97(2002) 発売履歴

• 2008 ASTM F1593-08(2016) 高質量分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 2008 ASTM F1593-08 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 1997 ASTM F1593-97(2002) 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法
• 1997 ASTM F1593-97 高品質分解能グロー放電質量分析法を使用した電子グレードのアルミニウム中の微量金属不純物を測定するための標準試験方法