ASTM F1512-94(1999)
スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法

規格番号

ASTM F1512-94(1999)

制定年

1999

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1512-94(2003)

最新版

ASTM F1512-94(2011)

ASTM F1512-94(1999) 発売履歴

• 1994 ASTM F1512-94(2011) スパッタターゲットバッキングコンポーネントの超音波 C-Scan 結合評価の標準手法
• 1999 ASTM F1512-94(2003) スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法
• 1999 ASTM F1512-94(1999) スパッタリングターゲット・バックプレート一体型高品質超音波検査法