ASTM F1367-98(2011)
薄膜装置用クロムスパッタリング電極の標準仕様
- 規格番号
- ASTM F1367-98(2011)
- 制定年
- 1998
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 最新版
- ASTM F1367-98(2011)
- 範囲
- 1.1 この仕様は、クロム金属から製造されたスパッタリング ターゲットを対象としています。 1.2 この仕様は、純度グレードレベル、物理的特性、分析方法、および包装要件を設定します。 1.3 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。
ASTM F1367-98(2011) 規範的参照
- ASTM E112 平均粒子径を測定するための標準試験方法
ASTM F1367-98(2011) 発売履歴
- 1998 ASTM F1367-98(2011) 薄膜装置用クロムスパッタリング電極の標準仕様
- 1998 ASTM F1367-98(2003) 薄膜装置用クロム溶射電極
- 1998 ASTM F1367-98 薄膜装置用クロム溶射電極
