ASTM F1367-98
薄膜装置用クロム溶射電極

規格番号

ASTM F1367-98

制定年

1998

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM F1367-98(2003)

最新版

ASTM F1367-98(2011)

範囲

1.1 この仕様は、クロム金属から製造されたスパッタリング ターゲットを対象としています。 1.2 この仕様は、純度グレードレベル、物理的特性、分析方法、および包装要件を設定します。 1.3 SI 単位で記載されている値は標準的な値です。

ASTM F1367-98 発売履歴

• 1998 ASTM F1367-98(2011) 薄膜装置用クロムスパッタリング電極の標準仕様
• 1998 ASTM F1367-98(2003) 薄膜装置用クロム溶射電極
• 1998 ASTM F1367-98 薄膜装置用クロム溶射電極