ASTM F1467-99(2005)e1
マイクロ電子デバイスに対する電離放射線の影響をテストする際の X 線テスター (10 keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド

規格番号
ASTM F1467-99(2005)e1
制定年
1999
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F1467-11
最新版
ASTM F1467-18
範囲
多くの宇宙、軍事、原子力システムで使用される電子回路は、さまざまなレベルの電離放射線量にさらされる可能性があります。 このような回路の設計と製造には、そのようなシステムで使用されるコンポーネントの脆弱性または硬度 (非脆弱性の尺度) を決定できるテスト方法が利用可能であることが不可欠です。 メーカーは現在、硬度評価が保証された半導体部品を販売しており、部品の硬度仕様をカバーするために軍用規格システムが拡張されています。 したがって、資格試験を標準化するには試験方法とガイドが必要です。 低エネルギー (≈10 keV) X 線源の使用は、マイクロ電子デバイスの電離放射線影響試験用のコバルト 60 の代替品として検討されています (3、4、5、6)。 このガイドの目的は、必要に応じてそのような使用に関する背景情報とガイダンスを提供することです。 注 38212;コバルト 60電離放射線 (&#“総線量&#”) 検査で最も一般的に使用される電離放射線源はコバルト 60 です。 1.17 MeV および 1.33 MeV のエネルギーを持つガンマ線は、コバルト 60 によって放出される一次電離放射線です。 コバルト 60 線源を使用した曝露では、低エネルギー散乱放射線による線量増加の影響を最小限に抑えるために、試験片を鉛アルミニウムの容器に密閉する必要があります (これらの影響が無視できることが証明されている場合を除く)。 この鉛アルミニウム容器の場合、0.7 ～ 1.0 mm のアルミニウムの内部シールドを囲む少なくとも 1.5 mm の鉛が必要です。 (8.2.2.2 および Practice E1249 を参照。 ) X 線テスターは、次の理由から、電離放射線の影響をテストする有用なツールであることが証明されています。 ほとんどのコバルト 60 線源と比較して比較的高い線量率を提供するため、テスト時間が短縮されます。 。 放射線は十分に低いエネルギーなので、容易に平行にすることができます。 その結果、ウェーハ上の単一のデバイスを照射することが可能になります。 放射線の安全性の問題は、コバルト 60 線源よりも X 線照射装置を使用した方が簡単に管理できます。 これは、光子のエネルギーが比較的低いことと、X 線源を簡単にオフにできるという事実の両方によるものです。 X 線施設は、多くの場合、同等のコバルト 60 施設よりも安価です。 このガイドで説明されている主な放射線誘発効果 (エネルギー付与、吸収線量の増加、電子と正孔の再結合) (付録 X1 を参照) は、部品の電離放射線耐性の性能を向上させるためにプロセスを変更した場合でも、ほぼ同じままです。 それが生産されているのです。 これは、デバイス層の厚さと組成が実質的に変化しない限り当てはまります。 プロセス変数に対する感度が低いため、10 keV X 線テスターはプロセスの改善と制御に優れた装置であることが期待されています。 いくつかの出版された報告書は、線量増強と電子正孔再結合の補正を使用して X 線とコバルト 60 ガンマ線照射を相互比較することに成功したことを示しています。 他の報告では、物理的影響に関する現在の理解は実験結果を説明するには不十分であることが示されています。 その結果、現時点では X 線とコバルト 60 ガンマ線照射の影響の違いが十分に理解されているかどうかは完全にはわかりません。 (8.2.1 および付録 X2 を参照。 ) 放射線影響の光子エネルギー依存性を理解できない可能性があるため、認定試験またはロット受け入れ試験に 10 keV X 線試験機を使用する場合は、X 線試験機を使用することをお勧めします。 そのようなテストは……

ASTM F1467-99(2005)e1 発売履歴

  • 2018 ASTM F1467-18 X線検査装置の使用に関する標準ガイド (
  • 2011 ASTM F1467-11 半導体デバイスおよび集積回路用電離放射線効果X線試験装置の使用に関する標準ガイド（約10keVの光子量）
  • 1999 ASTM F1467-99(2005)e1 マイクロ電子デバイスに対する電離放射線の影響をテストする際の X 線テスター (10 keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド
  • 1999 ASTM F1467-99(2005) 半導体デバイスおよびマイクロ回路に対する電離放射線の影響のテストにおける X 線テスター (10keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド
  • 1999 ASTM F1467-99 半導体デバイスおよびマイクロ回路に対する電離放射線の影響のテストにおける X 線テスター (10keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド


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