ASTM F1467-99
半導体デバイスおよびマイクロ回路に対する電離放射線の影響のテストにおける X 線テスター (10keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド

規格番号
ASTM F1467-99
制定年
1999
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F1467-99(2005)
最新版
ASTM F1467-18
範囲
1.1 このガイドでは、半導体ディスクリート デバイスおよび集積回路のテストにおける X 線テスター (つまり、平均光子エネルギーが [約]10 keV、最大エネルギーが [約]50 keV の光子スペクトルを持つ線源) の使用に関する推奨手順について説明します。 電離放射線による影響。 1.2 X 線テスターは、電離放射線の影響に対するウェーハ レベルまたは蓋を外したマイクロ電子デバイスの感受性を調査するのに適している場合があります。 これは、単一事象効果 (SEE) や移動による損傷による影響など、他の放射線誘発効果を調査するのには適していません。 1.3 このガイドは、設計された (MOS トランジスタのように) または寄生的な (バイポーラ トランジスタの寄生 MOS 素子のように) 金属酸化シリコン (MOS) 回路素子における放射線の影響に焦点を当てています。 1.4 X 線試験機で得られた電離放射線硬度の結果と、コバルト 60 ガンマ線照射で得られた結果との適切な比較に関する情報が提供されます。 X 線源とコバルト 60 ガンマ線源の光子エネルギーの違いによって引き起こされる放射線誘発効果のいくつかの違いが評価されます。 これらの効果の差の大きさの定量的推定値、および試験プロトコルを設定する際に考慮すべきその他の要因が示されています。 1.5 10 keV X 線テスターを認定テストまたはロット受け入れテストに使用する場合、そのようなテストをコバルト 60 ガンマ線照射によるクロスチェックによってサポートすることをお勧めします。 1.6 X 線試験機で得られた電離放射線硬度の結果と、リニアックや陽子などで得られた結果との比較は、このガイドの範囲外です。 1.7 X 線とコバルト 60 ガンマ線照射によって引き起こされる物理的影響の違いに関する現在の理解は、比 (穴の数-コバルト-60/(穴の数-X-) の推定値を提供するために使用されます。 X 線とコバルト 60 ガンマ線による影響の差が小さいと予想されるいくつかのケースが定義されており、その差が 4 倍ほど大きくなる可能性がある他のケースについても説明されています。 X 線テスターもコバルト 60 ガンマ線源も、一般に、指定されたシステムの放射線環境の正確なシミュレーションを提供しないことを認識しました。 どちらのテスト線源を使用しても、指定された放射線環境から予想される影響を外挿する必要があります。 このガイドでは、X 線テスターとコバルト 60 のガンマ効果の違いについて説明します。 この説明は、異なる放射線環境から予想される効果への外挿問題の背景として役立つはずです。 ただし、予想される効果への外挿のプロセスは、実際の環境は別の場所で扱われます (1、2)。 1.9 X 線の照射と測定の時間スケールは、予想されるデバイス用途での照射時間とは大幅に異なる場合があります。 時間依存の影響に関する情報が提供されます。 1.10 平行 X 線ビームがウェーハ上の所望の照射領域を超えて横方向に広がる可能性についても議論します。 1.11 推奨される実験方法、線量測定、およびデータ解釈に関する情報が提供されます。 1.12 半導体デバイスの放射線試験は、照射されたデバイスの電気的パラメータの重大な劣化を引き起こす可能性があるため、破壊試験として考慮される必要があります。 1.13 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1467-99 発売履歴

  • 2018 ASTM F1467-18 X線検査装置の使用に関する標準ガイド (
  • 2011 ASTM F1467-11 半導体デバイスおよび集積回路用電離放射線効果X線試験装置の使用に関する標準ガイド（約10keVの光子量）
  • 1999 ASTM F1467-99(2005)e1 マイクロ電子デバイスに対する電離放射線の影響をテストする際の X 線テスター (10 keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド
  • 1999 ASTM F1467-99(2005) 半導体デバイスおよびマイクロ回路に対する電離放射線の影響のテストにおける X 線テスター (10keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド
  • 1999 ASTM F1467-99 半導体デバイスおよびマイクロ回路に対する電離放射線の影響のテストにおける X 線テスター (10keV の放射線量子にほぼ等しい) の使用に関する標準ガイド


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