GB/T 17874-2010
電子産業用ガス三塩化ホウ素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 17874-2010
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2011
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2022-05
- に置き換えられる
- GB/T 17874-2021
- 最新版
- GB/T 17874-2021
- 交換する
- GB/T 17874-1999
- 範囲
- この規格は、三塩化ホウ素の技術要件、試験方法、標識、包装、保管および輸送、および安全性を規定しています。 この規格は、粗三塩化ホウ素を原料とし、吸着、精留等の方法により精製された三塩化ホウ素に適用されます。 主に半導体デバイスの製造における拡散、イオン注入、ドライエッチングの工程で使用されます。
GB/T 17874-2010 規範的参照
- GB 14193 液化ガスボンベ充填規制
- GB 190 危険物包装標識
- GB 5099 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 26571 特殊ガス貯蔵期間仕様*， 2011-06-16 更新するには
- GB/T 3723 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
- GB/T 8984 ガス中の一酸化炭素、二酸化炭素、炭化水素の測定 ガスクロマトグラフィー
GB/T 17874-2010 発売履歴
- 2021 GB/T 17874-2021 電子特殊ガス三塩化ホウ素
- 2011 GB/T 17874-2010 電子産業用ガス三塩化ホウ素
- 1999 GB/T 17874-1999 電子産業用ガス三塩化ホウ素
