GB/T 17874-1999
電子産業用ガス三塩化ホウ素 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 17874-1999
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1999
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2011-05
- に置き換えられる
- GB/T 17874-2010
- 最新版
- GB/T 17874-2021
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用される三塩化ホウ素ガスの要件、検査方法、検査規則、梱包、マーキング、輸送、保管および安全要件を指定します。 この規格は、粗三塩化ホウ素を原料とし、吸着法や蒸留法により精製した三塩化ホウ素に適用されます。 主に、エレクトロニクス産業におけるシリコン半導体デバイスや集積回路の製造に使用される拡散、イオン注入、および乾式法で使用されます。 エッチングなどの加工。
GB/T 17874-1999 発売履歴
- 2021 GB/T 17874-2021 電子特殊ガス三塩化ホウ素
- 2011 GB/T 17874-2010 電子産業用ガス三塩化ホウ素
- 1999 GB/T 17874-1999 電子産業用ガス三塩化ホウ素
