ASTM E983-10
オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を測定するための標準ガイド
- 規格番号
- ASTM E983-10
- 制定年
- 2010
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM E983-10(2018)
- 最新版
- ASTM E983-19
- 範囲
- AES で電子ビーム励起を使用すると、入射電子ビームが試料材料と相互作用して物理的および化学的変化を引き起こす可能性があります。 一般に、これらの影響は局所的な試料の変化を引き起こすため、AES 分析の妨げとなります (1-4)。 電気伝導率が低い試料では、電子ビームが試料表面の局所的な電荷の発生を刺激する可能性があります。 電荷に関連する電位がオージェ データの完全性に悪影響を及ぼしたり、オージェ データ収集を困難にしたりする可能性があるため、この効果は AES 分析の妨げとなります (5、6)。 1.1 このガイドでは、電子ビームにおける望ましくない電子ビーム効果の起源と発現について概説します。 オージェ電子分光法 (AES)。 1.2 これらの影響を引き起こす可能性が最も高い電子ビームパラメータに関していくつかの一般的なガイドラインが提供され、それらを最小限に抑える方法についての提案が提供されます。 1.3 望ましくない電子ビーム効果を示す可能性が最も高い材料の一般的なクラスが特定されます。 さらに、電子損傷の影響を受けることが観察されているいくつかの特定の材料の表が提供されます。 1.4 日常的な AES 分析中にこれらの影響の存在と範囲を確立するための簡単な方法の概要が説明されています。 1.5 SI 単位で記載された値は標準とみなされます。 この規格には他の測定単位は含まれません。 1.6 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM E983-10 規範的参照
ASTM E983-10 発売履歴
- 2019 ASTM E983-19 オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
- 2018 ASTM E983-10(2018) オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
- 2010 ASTM E983-10 オージェ電子分光法における化学効果とマトリックス効果を測定するための標準ガイド
- 2005 ASTM E983-05 オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
- 2004 ASTM E983-04 オージェ電子分光法における不要な電子ビーム効果を最小限に抑えるための標準ガイド
- 1994 ASTM E983-94(1999) オージェ電子分光法における不要な電子ビームの影響を最小限に抑えるための標準ガイド
