GB/T 15909-2009
電子産業用ガス シラン (SiH4) (英語版)
- 規格番号
- GB/T 15909-2009
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2009
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2017-12
- に置き換えられる
- GB/T 15909-2017
- 最新版
- GB/T 15909-2017
- 交換する
- GB/T 15909-1995
- 範囲
- この規格は、シランガスの技術要件、試験方法、包装、マーキング、保管、輸送、安全性を規定しています。 この規格は、エレクトロニクス産業におけるポリシリコンおよび単結晶シリコンのエピタキシャル堆積、二酸化シリコンの低温化学気相堆積、およびアモルファスシリコン膜の堆積に適用されます。
GB/T 15909-2009 規範的参照
- GB 11640 アルミニウム合金シームレスガスシリンダー*， 2011-12-30 更新するには
- GB 14193 液化ガスボンベ充填規制
- GB 190-2009 危険物包装標識
- GB 5099-1994 スチールシームレスガスシリンダー
- GB 7144-1999 ガスシリンダーのカラーマーク
- GB/T 3723-1999 工業用化学製品のサンプリングに関する一般的な安全原則
- GB/T 5832.1-2003 気体の水分含有量の測定その 1; 電解法
- GB/T 8984-2008 ガス中の一酸化炭素、二酸化炭素、炭化水素の測定 ガスクロマトグラフィー
GB/T 15909-2009 発売履歴
- 2017 GB/T 15909-2017 エレクトロニクス産業用のガス状シラン
- 2009 GB/T 15909-2009 電子産業用ガス シラン (SiH4)
- 1995 GB/T 15909-1995 電子産業用ガスシラン (SiH4)
