GB/T 15909-1995
電子産業用ガスシラン (SiH4) (英語版)
- 規格番号
- GB/T 15909-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-05
- に置き換えられる
- GB/T 15909-2009
- 最新版
- GB/T 15909-2017
- 範囲
- この規格は、エレクトロニクス産業で使用されるシランガスの技術要件、検査方法、検査規則、梱包、マーキング、輸送、保管および安全要件を規定しています。 この規格は主にエレクトロニクス業界でポリシリコンや単結晶シリコンのエピタキシャル蒸着、二酸化シリコンの低温化学蒸着、アモルファスシリコン膜の蒸着などに使用されています。 分子式：SiH4 相対分子量：32.117（ 1991 年の国際相対原子量）。 101.3kPaでの沸点: ——112°C 20°C、101.3kPaでのガス密度: 1.342kg/m3。 -185℃での液体密度：711kg/m3。
GB/T 15909-1995 発売履歴
- 2017 GB/T 15909-2017 エレクトロニクス産業用のガス状シラン
- 2009 GB/T 15909-2009 電子産業用ガス シラン (SiH4)
- 1995 GB/T 15909-1995 電子産業用ガスシラン (SiH4)
