GB/T 6624-1995
シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 6624-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 6624-2009
- 最新版
- GB/T 6624-2009
- 範囲
- この規格は、シリコン単結晶片面研磨ウェーハ（以下、研磨ウェーハ）の表面品質を一定の照明条件下で目視検査する方法を規定したものです。 この規格はシリコン研磨ウェーハの表面品質検査に適用されます。
GB/T 6624-1995 発売履歴
- 2009 GB/T 6624-2009 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
- 1995 GB/T 6624-1995 シリコン研磨ウェーハの表面品質を目視検査する方法
