GB/T 1554-1995
シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法 (英語版)
- 規格番号
- GB/T 1554-1995
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 1995
- 出版団体
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- 状態
- 2010-06
- に置き換えられる
- GB/T 1554-2009
- 最新版
- GB/T 1554-2009
- 範囲
- この規格は、優先エッチング技術によってシリコン結晶の完全性をテストする方法を規定しています。 この規格は結晶方位または抵抗率10-3～104Ω・cm、転位密度0～105cm＜上付き文字-2間のシリコン単結晶インゴットまたはシリコンウェーハの自然欠陥検査＞に適用されます。
GB/T 1554-1995 発売履歴
- 2009 GB/T 1554-2009 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
- 1995 GB/T 1554-1995 シリコン結晶の完全性を評価する化学優先腐食試験方法
