ASTM D5542-04(2009)
イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオン分析の標準試験法
- 規格番号
- ASTM D5542-04(2009)
- 制定年
- 2004
- 出版団体
- American Society for Testing and Materials (ASTM)
- 状態
- に置き換えられる
- ASTM D5542-16
- 最新版
- ASTM D5542-16
- 範囲
- アニオンのフッ化物、塩化物、および硫酸塩は、高圧ボイラー、電力タービン、およびそれらに関連する熱交換器の腐食の重要な原因であることが確認されています。 多くの電力会社は、ボイラー給水中のこれらの汚染物質を 1 &#μg/L 未満に削減しようとしています。 半導体製造プロセスでは、特にこれらのイオンが製品歩留まりの低下の原因として特定されているため、電力業界で要求されるレベルと同様のレベルまで監視および制御する必要があります。 酢酸塩やギ酸塩などの低分子量有機酸は、多くの蒸気発生器の給水や凝縮水に含まれています。 これらは、ボイラー補給水に含まれる有機物の高温分解によって生じると考えられています。 これらの有機酸はボイラー水の pH を低下させることで腐食を促進し、それ自体が腐食性である可能性さえあると考えられています。 このような低分子量有機物は、半導体処理用にバクテリアを含まない水を生成するために紫外線を使用する場合にも生成される可能性があります。 このような極性有機汚染物質は、半導体歩留まりの低下を引き起こす可能性があると考えられています。 リン酸塩は通常、ドラムボイラーに低 mg/L レベルで添加され、カルシウムとマグネシウムを沈殿させ、スケールの形成を防ぎます。 イオンクロマトグラフィーは、ボイラー水中の化学物質の濃度を監視したり、蒸気への不要なキャリーオーバーを検出したりするために使用できます。 1.1 これらの試験方法は、微量 (&#μg/L) レベルの化学物質の測定を対象としています。 サンプルの前濃縮とイオンクロマトグラフィーを組み合わせて使用し、高純度水中のフッ化物、酢酸塩、ギ酸塩、塩化物、リン酸塩、硫酸塩を分析します。 臭化物、亜硝酸塩、硝酸塩、亜硫酸塩、ヨウ化物などの他の陰イオンもこの方法で測定できます。 ただし、これらは高純度水中に有意な濃度で存在することはほとんどないため、この試験方法には含まれていません。 2 つの試験方法が提示されており、共同研究によって決定されたその適用範囲は次のとおりです。 試験範囲 (&#μg/L 追加) 検出限界 A (単一オペレーター) (&#μg/L 追加) g/L) セクション 試験方法 A: 7&#–15 塩化物 0&#–24 0.8 リン酸塩 0&#–39 B 硫酸塩 0&#–55 1.8 試験方法 B:16&#– 23 フッ素0–14 0.7
ASTM D5542-04(2009) 規範的参照
- ASTM D1066 蒸気サンプリングの標準的な方法
- ASTM D1129 水に関する標準用語
- ASTM D1192 ASTM D1192-98
- ASTM D1193 試薬水 (連邦試験法 No. 7916)
- ASTM D3370 密閉パイプラインによる給水の標準的な慣行
- ASTM D3856 水のサンプリングと分析に従事する研究所における適切な実験手順のための標準ガイド
- ASTM D4210 研究室内の品質管理手順と低レベルデータの報告に関する標準的な実践方法についての議論
- ASTM D4453 高純度水サンプルを取り扱うための標準的な方法
- ASTM D5810 水性サンプルのスパイクに関する標準ガイドライン
- ASTM D5847 水分析の標準試験法の品質管理仕様書の作成
ASTM D5542-04(2009) 発売履歴
- 2016 ASTM D5542-16 イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオンの定量のための標準試験法
- 2004 ASTM D5542-04(2009) イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオン分析の標準試験法
- 2004 ASTM D5542-04 イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
- 1994 ASTM D5542-94(1999)e1 イオンクロマトグラフィーを使用した高純度水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
