ASTM D5542-04
イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法

規格番号

ASTM D5542-04

制定年

2004

出版団体

American Society for Testing and Materials (ASTM)

状態

入れ替わる

に置き換えられる

ASTM D5542-04(2009)

最新版

ASTM D5542-16

範囲

アニオンのフッ化物、塩化物、および硫酸塩は、高圧ボイラー、電力タービン、およびそれらに関連する熱交換器の腐食の重要な原因であることが確認されています。 多くの電力会社は、ボイラー給水中のこれらの汚染物質を 1 &#μg/L 未満に削減しようとしています。 半導体製造プロセスでは、特にこれらのイオンが製品歩留まりの低下の原因として特定されているため、電力業界で要求されるレベルと同様のレベルまで監視および制御する必要があります。 酢酸塩やギ酸塩などの低分子量有機酸は、多くの蒸気発生器の給水や凝縮水に含まれています。 これらは、ボイラー補給水に含まれる有機物の高温分解によって生じると考えられています。 これらの有機酸はボイラー水の pH を低下させることで腐食を促進し、それ自体が腐食性である可能性さえあると考えられています。 このような低分子量有機物は、半導体処理用にバクテリアを含まない水を生成するために紫外線を使用する場合にも生成される可能性があります。 このような極性有機汚染物質は、半導体歩留まりの低下を引き起こす可能性があると考えられています。 リン酸塩は通常、ドラムボイラーに低 mg/L レベルで添加され、カルシウムとマグネシウムを沈殿させ、スケールの形成を防ぎます。 イオンクロマトグラフィーは、ボイラー水中のこのような化学物質の濃度を監視したり、蒸気への不要なキャリーオーバーを検出したりするために使用できます。 1.1 これらの試験方法は、微量 (g/L) レベルのフッ化物、酢酸塩、ギ酸塩、イオンクロマトグラフィーとサンプルの前濃縮を組み合わせて、高純度水中の塩化物、リン酸塩、硫酸塩を分析します。 臭化物、亜硝酸塩、硝酸塩、亜硫酸塩、ヨウ化物などの他の陰イオンもこの方法で測定できます。 ただし、これらは高純度水中に有意な濃度で存在することはほとんどないため、この試験方法には含まれていません。 2 つの試験方法が提示されており、共同研究によって決定されたその適用範囲は次のとおりです: 試験範囲 (956;g/L 追加) 検出限界 (1 人のオペレーター) (956;g/L) セクション 試験方法 A: 7-15 塩化物 0-240.8 リン酸 0-39 硫酸 0-551.8 試験方法 B:16-22 フッ素 0-140.7 酢酸 0-4146.8 蟻酸 0-346 5.61.2 未試験のマトリックスの水に対するこれらの試験方法の妥当性を確認するのはユーザーの責任です。 .1.3 試験方法 A の一般的な実用範囲は次のとおりです: 塩化物、1 ～ 100 956;g/L、リン酸塩、3 ～ 100 956;g/L、および硫酸塩、2 ～ 100 956;g/L。 試験方法 B の一般的な実用範囲は次のとおりです: フッ化物、1 ～ 100 956;g/L、酢酸塩、10 ～ 200 956;g/L、ギ酸塩、5 ～ 200 956;g/L.1.5 に記載されている値SI 単位は標準とみなされます。 1.6 この標準は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM D5542-04 発売履歴

• 2016 ASTM D5542-16 イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオンの定量のための標準試験法
• 2004 ASTM D5542-04(2009) イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオン分析の標準試験法
• 2004 ASTM D5542-04 イオンクロマトグラフィーによる高純水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法
• 1994 ASTM D5542-94(1999)e1 イオンクロマトグラフィーを使用した高純度水中の微量陰イオンの定量のための標準試験方法