ASTM F1810-97
シリコンウェーハの浸食または表面欠陥の優先統計の標準試験方法

規格番号
ASTM F1810-97
制定年
1997
出版団体
American Society for Testing and Materials (ASTM)
状態
に置き換えられる
ASTM F1810-97(2002)
最新版
ASTM F1810-97(2002)
範囲
1.1 この試験方法では、顕微鏡分析によってシリコン ウェーハの表面欠陥の密度をカウントする技術について説明します。 注 1 - 欠陥計数法を実際に使用するには、欠陥が表面上にランダムに分布していると仮定する必要があります。 この仮定が満たされない場合、このテスト方法の精度と精度は低下します。 1.2 この試験方法の適用は、シリコンサンプルの表面に個別の識別可能なアーティファクトがある試験片に限定されます。 典型的なサンプルは、ガイド F 1809 に従って優先的にエッチングされるか、エピタキシャル堆積され、シリコン層構造に欠陥が形成されます。 1.3 この試験方法のウェーハの厚さと直径は、利用可能な範囲または顕微鏡ステージの動きによってのみ制限されます。 1.4 この試験方法は、欠陥密度が 1 cm2 あたり 0.01 ～ 10,000 個の欠陥を持つシリコン ウェーハに適用できます。 注 2 - 商業的に重要な欠陥密度の範囲は、1cm2 あたり 0.01 ～ 10 個の欠陥ですが、この試験方法は、より高いカウントで得られる統計的サンプリングが改善されているため、より高い欠陥レベルにも拡張されます。 1.5 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。 適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1810-97 規範的参照

  • ASTM F1241 
  • ASTM F1725 シリコンインゴットの結晶学的完全性分析のための標準ガイド
  • ASTM F1726 シリコンウェーハの結晶学的完全性分析に関する標準ガイドライン
  • ASTM F1727 研磨されたシリコンウェーハの酸化誘発欠陥を検出するための標準的な手法
  • ASTM F1809 シリコンの構造欠陥を引き起こすエッチング溶液の選択と使用に関する標準ガイド

ASTM F1810-97 発売履歴

シリコンウェーハの浸食または表面欠陥の優先統計の標準試験方法


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