ASTM F1809-97 シリコンの構造欠陥を引き起こすエッチング溶液の選択と使用に関する標準ガイド規格と仕様

範囲: 1.1 このガイドでは、シリコンウェーハの構造欠陥を明らかにするために開発された化学溶液の配合、選択、および使用について説明します。エッチング溶液は、シリコンデバイスの回路性能や歩留まりに悪影響を与える結晶欠陥を特定します。サンプルの準備、温度制御、エッチング技術、エッチング液の選択はすべて、エッチング方法をうまく使用するための重要な要素です。このガイドでは、いくつかのエッチングソリューションに関する情報が提供され、ユーザーが必要に応じて選択できるようになります。詳細については、付録 X1 および図を参照してください。 1-32。シリコンウェーハの優先的にエッチングまたは装飾された表面欠陥をカウントするための試験方法については、試験方法 F 1810 を参照してください。 1.2 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合、そのすべてに対処することを目的とするものではありません。適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。

ASTM F1809-97 規範的参照